Strategies for conformal boron carbide CVD enabling trench deposition and nanowraps

Författare
Linköpings universitet Arun Haridas Choolakkal
(Arun Haridas Choolakkal., Härtill 6 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Linköping : Linköpings universitet, 2024)
Genre
Avhandlingar, theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Department of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linköping University 2024 Sverige, Linköping xiii, 56 sidor illustrationer 978-91-8075-941-0